气体质量流量计

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气流质量传感器工作原理

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气流质量传感器工作原理

发布日期:2020-01-11 作者: 点击:

气体质量流量计采用气流质量传感器和压力传感器。气流质量传感器是基于流过传感器气流质量带走的热量正比于其输出电压的热传输原理,压力传感器是气体的压力正比于输出电压,即将气体质量流量和气体压力同时转换成模拟信号输出。

质量流量计零点不稳定形成零点漂移,影响其精确度的进一步提高,使得许多型号仪表只得采用将总误差分为基本误差和零点不稳定度量两部分。 科里奥利质量流量计不能用于测量低密度介质和低压气体;液体中含气量超过。测量系统根据科氏力原理测量介质的质量流量。科氏力是物体在旋转系统中做直线运动时所受 的力。 ·Δω 科氏力 Δ ω 角速度 旋转或振动时的径向速度 科氏力大小与运动物体的质量Δ 、速度成正比,即与介质的质量流量成正比。质量流 量计用测量管的振。

该流量计同时实现热源的产生与温度的测量。当芯片处于工作状态时,在传感器的周边形成稳定的温度场分布。一旦一定质量的气体流过传感器时,气体的流动将破坏该温度场的分布,形成特定的、取决于该气体的质量和速度的温度场分布。微机电系统流量计芯片上的传感器将测量这一变化并把这一变化转换为电信号,由一个专门的电路变送器对此信号进行放大、调理并作线性化处理。由于不同质量的气体对传感器的周边形成稳定的温度场分布所产生的扰动不同,因而能测量气体的质量流量或总流量。


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