气体质量流量计

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气体质量流量计控制器的工作原理特征

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气体质量流量计控制器的工作原理特征

发布日期:2019-01-14 作者: 点击:

流量计可以用于控制各种清洁干燥气体,包括腐蚀性气体和特殊气体,但对于使用腐蚀性气体和特殊气体,需要恰当选择型号和密封材料。用户在订货时,需要向供货厂商特殊说明使用气体,以免因为选型或选择密封材料错误,造成严重损失。通常质量流量控制器接触工作气体的材质为316L不锈钢、密封材质分为金属焊接,聚四氟乙烯和普通氟橡胶。质量流量控制器采用金属焊接密封的MFC原则上可以用于任何气体,包括各种腐蚀性气体和特种气体。对于三溴化硼、三氯化硼、氟化氢等强腐蚀性气体和MOCVD使用的金属氧化物气体建议采用金属焊接密封的MFC。

质量流量控制器由流量传感器、分流器通道、流量调节阀门和放大控制器等部分组成。质量流量控制器传感器采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量(无需温度压力补偿)。将传感器加热电桥测得的流量信号送入放大器放大, 放大后的流量检测电压与设定电压进行比较, 再将差值信号放大后去控制调节阀门,闭环控制流过通道的流量使之与设定的流量相等。分流器决定主通道的流量。与质量流量控制器配套的流量显示仪上设置有稳压电源,数字电压表, 设定电位器, 外设、内设转换和三位阀控开关等。

气体质量流量计控制器是一种无须温度、压力补偿就能方便而且准确地监测在管道中流动的各种气体、热式气体质量流量计是一种新型流量计量、监控仪表。

气体质量流量计采用热扩散原理,热扩散技术是一种在苛刻条件下性能优良、可靠性高的技术。其典型传感元件包括两个热电阻(铂RTD),一个是速度传感器,一个是自动补偿气体温度变化的温度传感器。当两个RTD被置于介质中时,其中速度传感器被加热到环境温度以上的一个恒定的温度,另一个温度传感器用于感应介质温度。流经速度传感器的气体质量流量是通过传感元件的热传递量来计算的。气体流速增加,介质带走的热量增多。使传感器温度随之降低。为了保持温度的恒定,则必须增加通过质量流量控制器的工作电流,此增加的部分电流大小与介质的流速成正比。


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